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VTC-100吸盘测试实验报告

进口无油真空泵（226L/min）ACP15

技术参数

1、电源：110V-240V  50Hz/60Hz

2、抽速：3.7L/s

3、极限真空：2.2×10^-2torr，因真空腔体的尺寸不同而不同

4、接口：进气接口KF25，出气接口KF16

5、使用环境温度：12℃-40℃

注意事项

每次使用后（尤其是抽湿气后），要进行排气，以排出水分。否则连续数次后可能导致叶片旋转不畅，而使泵不能正常工作或损坏。

进口无油真空泵（226L/min）ACP15因为泵内无油，所以在真空状态下无油雾产生，从而为实验提供了一个洁净的低压环境，特别适合与我司管式炉配合使用，组成低压CVD系统。

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