使用显微分光膜厚仪测量薄膜厚度是十分便捷的。这款仪器集成了所需的功能，可以通过显微光谱法测量多层膜的绝对反射率和光学常数，测量速度极快，只需1秒钟。此外，它还具有广范围的光学系统（紫外至近红外）和安全的传感器，易于使用。不仅如此，它还支持各种客制化需求，适用于各种情况。

具体型号有OPTM-A1、OPTM-A2和OPTM-A3，波长范围分别为230~800nm、360~1100nm和900~1600nm，而膜厚范围则分别为1nm~35μm、7nm~49μm和16nm~92μm。测定时间为1秒/1点，光斑大小为10μm（小约5μm）。不同型号的光源和感光元件等参数也有所不同。

通过测量项目：绝对反射率、多层膜解析和光学常数分析，可以测量各种膜的厚度。例如SiO2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）作为绝缘膜。这些测量对于绝缘膜的性能和精确的工艺控制至关重要。