Fischione微束定点离子刻蚀仪

Fischione微束定点离子刻蚀仪（型号：1040）主要用来对半导体集成电路、芯片、器件等样品的刻蚀处理，从而获取该类样品的线路结构，该产品主要由聚焦离子枪及高压电场、配套真空系统、触屏控制系统、配套线缆及气路等等部分组成。

Fischione微束定点离子刻蚀仪（型号：1040）主要技术参数：

1、加工离子能量范围需包括：50eV ~ 2keV；

2、离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品；

3、样品台倾转角度：-12度 ~ +30度，连续可调；

4、最大离子束流：≥1mA/cm2。

技术特色：

• 独有聚焦微束惰性气体离子束

• 极低修复电压：50 eV

• 聚焦束斑直径：1μm

• 定位精度高，去除非晶层且不产生再沉积现象

• 采用氩离子束激发二次电子成像同时实现修复及定位

• 离子束可以对准定点位置或在一个选定的区域进行进行精细修复

• 配备液氮冷台，去除热损伤