创新点

（1）首次将场发射灯丝稳定运行在台式电镜上，采用肖特基场发射灯丝，肖特基场发射灯丝发射束流大，束流稳定性高，既适合做 SEM 成像，还适合做能谱分析。首次将台式扫描电镜的分辨率提升到 2.5nm，放大倍数提升到 100 万倍； （2）为了满足场发射灯丝对超高真空的要求，创新性地采用全自动真空锁技术，获得了场发射灯丝扫描电镜最快的抽真空速度：15秒抽真空； （3）作为桌面型设备，为了满足100万倍拍照需求，防震动等级必须得到大幅提升，Phenom Nano 创新性地采用耦合式被动防震和主动防震，对实验室的安装条件要求大幅降低。

Phenom Nano —— 性能优越的飞纳台式场发射扫描电镜

秉承飞纳台式电镜系列全自动操作、快速成像、不喷金观看绝缘体、完全防震、性能稳定的特点，经过精心的设计，台式扫描电镜领军制造商荷兰飞纳公司推出了台式场发射扫描电镜 Phenom Pharos，将台式电镜的分辨率提升至优于 2.5nm。

Phenom Nano —— 电镜能谱一体化设计

Phenom Pharos 飞纳台式场发射电镜采用热场发射电子源，信噪比高，使用寿命长，保证长期稳定的性能。飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能，可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。

飞纳台式场发射扫描电镜 Phenom Nano

产品参数

• 光学显微镜：放大 27-160 倍

• 电子显微镜：1,000,000 倍

• 探测器：背散射电子探测器；二次电子探测器；能谱探测器（可选）

• 电子源：肖特基场发射电子源

• 分辨率：优于 2.5 nm

• 放置环境：采用专业防震设计，可摆放于普通实验室或办公室、厂房

• 加速电压：2kV-15kV 连续可调

• 抽真空时间：小于 15 秒

飞纳电镜——复纳科学仪器（上海）有限公司，2012 年创立于上海，为高校，企业和研究所提供台式扫描电子显微镜，及与台式扫描电镜相关的技术支持和测试服务。复纳科学仪器（上海）有限公司成立以来，一直专注显微技术，致力于实现扫描电镜平民化。飞纳电镜——复纳科学仪器（上海）有限公司为用户提供从扫描电镜基础理论到 Level 5 应用工程师的进阶培训，在上海、北京、广州、成都设立了测试中心和售后服务中心，目前飞纳电镜在中国已经拥有超过 1500 名用户。