发布时间：2023年03月
产品描述
液晶显示器( LCD)是目前广泛使用的平板显示器(FPD)之一，具有功耗低、外形薄、重量轻等特征。随着LCD技术的发展，台式液晶显示器、笔记本液晶显示器、手持显示器和大尺寸液晶电视已经越来越普及。从中国大陆TFT-LCD主要应用产品的需求状况来看，2008年中国大陆面板需求除受金融风暴影响导致成长率稍稍下滑外，未来几年预计年成长率都将达15%以上，由于国家家电下乡政策的出台，对于LCD取代CRT成为新一代主流显示技术更是起到了推波助澜的作用。
TFT-LCD制造过程中，主要的工艺过程分为三部分：ARRAY（阵列）工程、CELL（成盒）工程和MOUDLE（模组）工程。前者采用半导体工艺生产技术，且技术已经相当成熟，所以目前在日韩和中国台湾此部分的制造合格率一般都能达到95%甚至更高，而国内自从2003年以来相继投产的上广电、京东方和龙腾光电在这一方面稍微落后一点，如何进一步降低产品不良率，提高产品品质，成为国内液晶面板制造行业的努力方向。
SEM4000Pro是一款分析型热场发射扫描电子显微镜，配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计，束流最大可达200 nA，在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势。标配低真空模式，以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器，可观察导电性弱或不导电样品。标配的光学导航模式，以及直观的操作界面，让您的分析工作倍感轻松。
超高分辨率（0.9 nm@30 kV）
低真空模式（180 Pa）
三级磁透镜设计
200 nA大束流（选配）
机械优中心样品台
快速换样仓（最大8寸）
01配备高亮度、长寿命的肖特基热场发射电子枪
02分辨率高，30 kV 下优于 0.9 nm 的极限分辨率
03三级磁透镜设计，束流可调范围大，最大支持 200 nA 的分析束流
04无漏磁物镜设计，可直接观察磁性样品
05标配低真空模式，以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器
06标配的光学导航模式，中文操作软件，让分析工作更轻松
水菜花花粉/低真空70 Pa/10 kV/LVD
金属断口/10 kV/ETD
金属断口/15 kV/ETD
PA-玻纤复合材料/10 kV/BSED
芯片/5 kV/ETD
银浆/1 kV/ ETD
| 关键参数 | 高真空分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV，SE |
| 低真空分辨率 | 2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa | |
| 1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa | ||
| 加速电压 | 200 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基热场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
| 低真空模式 | 最大180 Pa | |
| 摄像头 | 双摄像头 | |
| （光学导航+样品仓内监控） | ||
| 行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 旁侧二次电子探测器（ETD） |
| 低真空二次电子探测器（LVD） | ||
| 插入式背散射电子探测器（BSED） | ||
| 选配 | 能谱仪（EDS） | |
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 样品交换仓 | ||
| 轨迹球&旋钮控制板 | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
