BSD-MASS
在线质谱气体分析系统Online Mass Spectrometer Gas Analyzer
主要参数 Main Parameter
◆ 零焊缝超高真空质谱腔体技术（将传统的 4 焊缝降低到 0 焊缝）；
◆ 分子泵高真空大流导 MAX 接口技术（将流导面积增加 3 倍以上，流导长度缩短 5 倍以上），从而获得极限灵敏度；
◆ 分子泵电流电压监测，质谱腔体温度监测；
◆ 采样管线防蒸汽凝结技术；采样口防堵技术；
主要优势 Major Advantages
◆ 四极质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（产地：美国，提供原产地证书及
原厂校准测试证书）；
◆ 质量数：默认 1-100amu；选配 1-200amu 或 1-300amu；
◆ 灯丝：镀铱灯丝，2 套，一用一备，软件切换；
◆ 分辨率：＜ 0.5ppm（40amu）；
◆ 扫描速度：最高可达 1.8 毫秒 /amu，扫描步阶 0.1amu；
◆ 最小可检测分压：2E-15Torr （4s 停留时间）；
◆ 涡轮分子泵：爱德华，抽速 85L/s，100KRPM，极限真空 1*10E-12mbar；
◆ 干泵：涡旋干泵，抽速 20L/S，极限真空 1*10E-1mbar（比膜片干泵真空度高一
个数量级）；
◆ 质谱腔体：一体式腔体，非焊接式，零焊缝，极高真空，低背景；
◆ 高真空烘烤：含腔体和采样管线加热烘烤，烘烤温度 150°C；
◆ 进样接口：1.2 米内洁净钝化不锈钢毛细管进样装置，防冷凝防堵塞保护结构；采
样压力默认 100±10kpa，负压或高压采样可定制；
◆ 气体采样流量：默认 2SCCM，最低可至 0.2SCCM 的超微采样量；（常压采样时，
完全消除了大 量流采样造成吸入空气的弊端）；
◆ 分流系统：具有，高精度分流系统是快速灵敏响应速度的保证；
◆ 响应速度：可在低至＜ 2SCCM 的微流量采样量下，仍然保持超快速的响应，响应
时间＜ 1 秒； （脱离采样量的响应时间没有价值）；
◆ 软离子化功能：离子源电压软件可调，实现分辨率的最优化，提高同质量数离子
分辨率；
◆ 软件分析系统：德国英福康（INFICON），英文；通讯接口 TCP/IP；
◆ 规格：H510mm*L520mm*W225mm，Weight35kg，高集成度。 可移动配置