主要特点：

1.标配的五轴马达驱动全对中样品台

2.zei先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护  

3.主动式减震器
4.全自动样品更换气锁  
5.全自动样品监控系统
6.全自动物镜光阑
7.多通道显示系统
8.自动减速系统标准配置     

9.LABe™* - 低角度背散射电子图像。
　(1)消 除充电效应。
　(2)可得到低电压下的背散射电子像。
　(3)提供更多表面细节和成份信息。
　(4)取图自动化-可同时显示4种不同的16位信号图像。
10.r-Filter – 能 量过滤器 可得到不同能级的二次电子像和背散射电子像。
11.GB mode –柔和电子束模式 提供良好的低电压图像。
12.自动样品交换(选配)。
13.可插拔式in-len背散射探 头。
14.带有自我保护的5轴马达驱动样品台。 

冷场发射扫描电子显微镜JSM-7500F是一款功能强大,操作简便,节约能源的分析型场发射扫描电子显微镜.JSM-7500F具有其他扫描电子显微镜没有的低电压下的高分辨率,在1KV下,分辨率达到了1.4nm.JSM-7500F提供了以前只有在浸没型物镜中才能达到的性能(30KV下0.6nm),但是样品尺寸不会如浸没型物镜扫描电子显微镜那样受到限 制,可以操控直径200mm,高10mm的样品。

技术参数：

1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)  
2.加速电压：0.1KV-30kV  
3.放大倍数：25-100万倍  
4.样品室尺寸：zei大200mm直径样品  
5.束流强度：10-13到2X10-9