KYKY-EM8100场发射扫描电子显微镜
KYKY-EM8100场发射扫描电子显微镜近年来发展起来的聚焦离子束(FIB)技术利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工,配合扫描电镜(SEM)等高倍数电子显微镜实时观察,成为了纳米级分析、制造的主要方法。目前广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故障分析、TEM制样等。
产品特点:
高性能肖特基场发射电子枪,亮度高、单色性好、束斑小、寿命长
具备卓越的低加速电压成像性能
超大样品腔室,更多扩展接口,满足多探测器、多功能联用、多嵌入原位测试
束流稳定,满足长时间工作需求
非导体试样或电子束敏感试样可不喷涂导电膜直接观测
技术指标:
分辨率 | 1.0nm@30KV(SE); 3.0nm@1KV(SE) ; 2.5nm@30KV (BSE) | 放大倍率 | 6-1000000 倍 |
电子枪 | 肖特基热场发射电子枪 | 加速电压 | 0~30kV |
透镜系统 | 多级高性能透镜系统,低像差锥形物镜 | 样品台 | 五轴全自动预对中样品台 |
探测器 | 高真空二次电子探测器(具备防碰撞功能) |
应用领域:
电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料