应用领域：其他
检测样品： 膜材料
检测项目：其他
参考标准：/ VBA
岛津AXIS Supra具备全自动传样系统，样品预抽时便可进行目标测试位置选择与深度剖析方法的提交。可配GCIS多模式离子枪，单氩离子模式用于金属类膜材料的深度剖析，低能团簇模式适用于常规有机物的刻蚀分析，20 kV最大团簇能量可以保证无机材料的有效分析。
方案摘要
