应用领域：电子/电器/半导体，纳米材料
检测样品：半导体
检测项目：表面粗糙度测量
超高精度和最小化探针针尖变量的亚埃级表面粗糙度测量
晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的。对于最先进的元件制造商，芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆上超平坦表面进行更精确的粗糙度控制
方案摘要
