应用领域:电子/电器/半导体
检测样品:高硅基体
检测项目:磷
本文应用PerkinElmer独创的去除干涉技术—UCT(通用池技术)功能的NexION 2000S ICP-MS检测对含有大量硅的氢氟酸介质中的磷的分析。