NexION 2000S ICP-MS 检测高硅基体样品中的微量磷杂质

应用领域:电子/电器/半导体

检测样品:高硅基体

检测项目:

方案摘要

本文应用PerkinElmer独创的去除干涉技术—UCT(通用池技术)功能的NexION 2000S ICP-MS检测对含有大量硅的氢氟酸介质中的磷的分析。

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