膜排除> 0.2 µm的微粒(1800和1200系统)
空气纯化:300次空气变化/小时
机器人臂定位精度:± 0.006度(旋转);± 0.025 mm(径向); ± 0.025 mm(Z方向)
机器人臂移动速度:360度/秒(旋转);1.8米/秒(径向);0.5米/秒(Z方向)
机器人臂位置间移动:< 3秒
全自动翻转式振荡器
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