转移时间:zei长转向时间 < 5 秒
有效载荷:每个labware:200 g;zei高:12800 g
重现性:± 0.02° Phi (± 0.5 mm)
独占区域:基座上方直径 33 cm,高 500 cm 的圆柱体区域
板呈递时间 < 5 秒
全自动翻转式振荡器
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