213 nm固态Nd:YAG激光,> 4mJ/脉冲的激光能量输出
能量输出:0~100%可调,能量稳定性RSD:3~4%
脉冲频率:1-20HZ,Q开关控制
烧蚀斑点:5μm-300μm :10-200μm(软件光圈控制)
计算机控制的60-600倍显微成像,<5μm的光学分辨率
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