波长范围:167–785 nm
RF 发生器:27 MHz 固态
等离子体气 8-20 L/min ,以 0.1 L/min 递增, 缺省设置为 12 L/min
信号稳定性:典型<1% RSD/8小时
典型分辨率:Mo 202.032 <7pm
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