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产品型号：日本电子JBX-6300FS 
品牌：日本电子
产品产地：日本
产品类型：进口
原制造商：日本电子/JEOL
状态： 在售
厂商指导价格：
未提供
英文名称：Electron beam lithography system
上市时间：
2011-11-23
优点： JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为（计算值）2.1nm的电子束，简便地描画出线宽在8nm以下（实际可达5nm）的图形。 此外，该光刻系统还实现了9nm以下的场拼接精度和套刻精度，性能比优越。 利用zei细电子束束斑（实测值直径≦2.9nm）可以描画8nm以下(实际可达5nm)极为精细的图形。
参考成交价格：
50万元[人民币] 查中标价
969