扫描范围:XY方向140um、Z方向70um,另外有30um和10um扫描器选配
扫描步进:XY方向<5nm、Z方向<1nm
反馈机制:音叉反馈(resonant frequency approximately 32 KHz);
网络讲座:如何选择正确的AFM探针
原子力显微镜新技术与应用网络研讨会