主过滤器过滤膜级别 :ULPA级过滤膜
主过滤效率 :99.999%(0.1~0.2µm颗粒)
工作区空气流速(垂直流) :0.3±0.025米/秒
工作区照明度(lux): >800
排气过滤器级别 :ULPA级过滤膜
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