波长范围:180-500nm,或80-800nm
光栅刻线:3600条/mm 或 2400条/mm离子刻蚀全息光栅
分辨率:在180-500nm全波段内分辨率可达0.006nm
zei小扫描步距:0.0004nm
精密度:RSD≤1.50%
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