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北京怡孚和融科技有限公司
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产品描述
技术参数: 输入稀释气体:1个标准口 输入源气体:2个标准口,一个清洁口 追加输入:可2个 稀释气体质量流量控制器:0-10SLM 可选量程:0-20SLM 源气体质量流量控制器:0-100SCCM 可选量程:0-1SLPM 第二个源气体质量流量控制器:0-1SLPM 流量精度:1%满量程 流量重现性:0.15%满量程 线性:0.5%满量程 输入压力:20-35PSIG 输出接口:4个标准输出口 可选:内部O3发生器
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