气路备件
说明                   规格           使用           单位         7700          7500
                                                                部件号          部件号
带内套管的等
离子体/辅助管线          0.2 m             2/包                         G3280-67023
等离子气路/辅助
气路的接头，PTFE         6 mm 和4 mm   用于到炬管的气路连接  各1 个     G1820-65027    G1820-65027
用于载气/辅助气/混
合气气路的内套管          CTFE         用于将气路管线连接到
                                          接头                5/包                      5042-0922
等离子气路的内套管        CTFE         用于将气路管线连接到
                                           接头               5/包                      5042-0923
载气/补充气/稀释气体管                                                    G3280-67022
用于稀释气体端口的气体连接器           用于连接稀释气体线到
                                          稀释端口                          0100-2583
氩气管组件包            1/4 英寸外径，5 m，
                          内套管，接头    用于外部管线                                  G1820-65023
载气/混合气的管线，PTFE     3 mm 内径，
                          4 mm 外径，35 cm   用于连接雾化器的气路
                                                管线            2/包                    G1833-65414
等离子体和辅助气路管线      3.17 mm 内径，
                          6.35 mm 外径，35 cm
                           （用于等离子体）
                            2.38 mm 内径，
                         3.96 mm 外径，35 cm
                            （辅助气体）      用于到炬管的气路连接   2/包                 G3270-65021
氩气增湿器                                                               G3270-80029      G3270-80029
氩气过滤器                                                               G1820-80341      G1820-80341
氩气清洗气过滤器                               半导体应用                 5064-8092          5064-8092
用于7700x/e 的氩气管路组件包                   用于外部管线              G3280-60160
用于7700s 的氩气管组件包                       用于外部管线              G3280-60163
不锈钢管外径               1/8 英寸，6 米       用于外池气路             G3270-65035     G3270-65035