三(叔丁氧基)硅烷醇:原理_价格_参数_使用方法-耗材谱::分析测试百科网

应用	三(叔丁氧基)硅烷醇与四(二甲基氨基)-铪蒸气（Hf(N(CH3)2)4）反应，用于硅酸铪玻璃膜的气相沉积。三(叔丁氧基)硅烷醇被用于无定形二氧化硅和氧化铝纳米层的高度共形层的原子层沉积（ALD）。
产品介绍	三(叔丁氧基)硅烷醇可以与各种金属烷基酰胺反应，作为气相沉积金属硅酸盐的前体。它也是二氧化硅沉积的理想前体。
别名	TBS;TBS

个人防护设备	Eyeshields， Gloves， type N95 (US)， type P1 (EN143) respirator filter
WGK德国	3

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