反射镜,输出耦合器和镜头
图1:157nm的激光镜(AOI = 0°,a)和转向镜(AOI = 45°,b)的测量反射率和透射光谱
Ø激光镜:AO = 0°时R = 92 ... 95%
Ø转向镜(AOI = 45°):
ØRs
> 97%
ØRp
> 90%
ØRr
> 92%
ØCaF2的高品质镜面基板,窗口片和镜片(肖特公司157nm受激准分子级品质)
Ø具有公差的PR涂层
ر 2 % for R = 10 ... 30 %
ر 3 % for R = 30 ... 75 % and
ر 2 % for R = 75 ... 90 %
Ø根据客户要求开发和生产特定组件,例如分束器和可变衰减器
图2:标准输出耦合器在R = 50±3%和R = 25±2%时测得的反射光谱(背面未镀膜)
可变衰减器
图3:可变衰减器在不同AOI(a)和透射率与AOI(b)下测得的透射光谱透射率从AOI = 0°时的T> 75%到AOI = 45°时的T <5%
F2激光铝镜
图4:受保护的Al镜(a)和增强型Al镜在157nm下的反射光谱(b)
受保护的铝镜(针对157nm进行了优化):R = 74 ... 78%
电介质增强型铝镜:AOI = 0°时R = 94%
有关铝镜的更多信息,请参阅我们的目录中的第96 - 97页。
标准F2激光组件的技术数据
Coating | Spectral performance | Lifetime test |
HR (0°, 157nm) | R = 92 ... 95 % | 2 x 108 |
HR (45°, 157nm) | R = 90 ... 94 % (random pol.) | |
PR (0°, 157nm) | R = 50 ± 3 % | 2 x 108 |
PR (0°, 157nm) | R = 25 ± 3 % | 2 x 108 |
Attenuator | T = 67 ± 3 % | 5 x 107 |
Attenuator | T = 33 ± 3 % | 1 x 108 |
Beam splitter | T = 20 ± 3 % | 1 x 108 |
AR (0°, 157nm) | 0.3 ... 0.7 % |
*能量密度:25mJ / cm2,重复频率:800Hz,脉冲持续时间:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
**能量密度:15mJ / cm 2,速率:200Hz,脉冲持续时间:20ns; 在光电技术研究所(IPHT)耶拿研究所进行测试
***能量密度:20 mJ / cm2,速率:50Hz,脉冲持续时间:20ns; 在光电技术研究所(IPHT)耶拿研究所进行测试