产品描述
优质基材
腔衰荡时间光谱仪或EUV镜的特殊激光应用的优质基材的特点是：
Ø精确的几何形状：有关直径，厚度，折痕或曲率半径等几何特性的公差，请参见我们目录的第12页
Ø表面粗糙度
Ø表面形状公差
Ø抛光表面上的缺陷数量
LAYERTEC针对所有这些参数优化了抛光程序。 在下文中，我们就会展示使用熔融二氧化硅和氟化钙可获得的出色结果。
规格
表面粗糙度
ØRMS-熔融石英和氟化钙的平面基板的粗糙度<1.5Å
Ø在光滑弯曲的球形熔融石英表面上得到相似的结果（取决于直径和曲率半径的比率）
Ø即使在紫外线范围内，基材的散射损耗也非常低：
ØTS = 2 x 10 – 5 at 248nm (total backscattering)
ØTS = 5.6 x 10 – 4 (total backscattering) and 7.5 x 10 – 4 (forward scattering) at 193 nm
Ø即使在DUV / VUV波长范围内也适用于低损耗光学元件
高质量抛光熔融石英基板的功率谱密度（PSD）曲线（在FhG IOF Jena上执行的测量）
高质量抛光CaF2基板（在FhG IOF Jena执行）的3D AFM测量，均方根粗糙度0.12nm
表面形状公差
Fused silica | Plane | λ/20 (633nm) for diameters of 6.35mm … 101.6 mm |
Spherical | λ/10 (633nm) for diameters of 6.35mm … 38.1mm | |
CaF2 | Plane | λ/10 (633nm) for diameters of 12.7mm … 25.4 mm |
λ/4 (633nm) for diameters of 38.1mm … 50.8 mm | ||
Spherical | λ/4 (633nm) for diameters of 12.7mm ... 50.8mm |
表面质量
Material | ISO 10110 (∅25mm) | Approximately equivalent to MIL-O-13830 |
Fused Silica | 5/1x 0.010 L1x 0.0005 | Scratch - Dig 5 - 1 |
CaF2 | 5/1x 0.016 L1x 0.0010 | Scratch - Dig 10 - 2 |
