产品描述
反射镜，输出耦合器和镜头
图1：随机偏光（a）的反射镜（AOI = 45°）在193 nm下的测量的反射率和透射光谱（a）和在两面都涂有193 nm氟化物AR涂层的CaF2窗口（b）
Ø所有氟化物系统均确保高反射率和高损伤阈值
ØPR涂层的公差为：
ر 2% for R = 10 ... 30 %
ر 3% for R = 30 ... 75 %
ر 2% for R = 75 ... 90 % and
ر 1% for R > 90 %
ØCaF2（肖特公司193nm受激准分子级）和熔融石英的高质量镜面基板，窗口片和透镜
Ø根据客户要求开发和生产特定组件，例如分束器和可变衰减器
Ø单波长增透膜，剩余反射率在AOI = 0°时R <0.25％，在AOI = 45°时R <0.6％（非偏振光）
Ø宽带和多波长增透膜
可变衰减器
图2：在不同的AOI（a）和透射率与AOI（b）下测得的可变衰减器的透射率光谱; 透射率从AOI = 0°时的T> 88％到AOI = 45°时的T <2％
Ø可根据要求提供不同传输范围的衰减器
Ø衰减器可以与CaF2熔融石英的AR涂层补偿板一起提供
铝反射镜
图3：优化了针对193nm的受保护Al镜（a）和针对193nm的增强Al镜（AOI = 45°（b））的测量反射光谱
增强铝镜：Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%
有关铝镜的更多信息，请参见目录中的96-97页。
标准ArF激光元件的技术参数
Coating | Substrate | Damage threshold* | Lifetime test |
Fluoride coatings | |||
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | CaF2 | 4 – 5 J/cm2 | 2.5 x 108 |
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | fused silica | 2 – 3 J/cm2 | |
PR (0°, 193nm) R = 25% | CaF2 | 3 – 4 J/cm2 | 2.5 x 108 |
PR (0°, 193nm) R = 50% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (0°, 193nm) R > 96% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized) | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | |
Oxide coatings | |||
HR (0°, 193nm) R>92% | fused silica | <1 J/cm2 |
1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大学进行了测量
2）能量密度：18mJ / cm 2，重复频率：4kHz，脉冲持续时间：30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试
3）能量密度：55mJ / cm 2，重复率：1kHZ，脉冲持续时间15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
4）能量密度：27mJ / cm 2，重复频率：4kHz，脉冲持续时间：30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试
5）能量密度：80mJ / cm 2，重复频率：1kHz，脉冲持续时间：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
