产品描述
标准件
图1：248nm转向镜（AOI = 45°）对随机偏振光的反射和透射光谱
Ø氧化物涂层具有较高的机械稳定性和较低的杂散光损耗
Ø激光镜（在248nm处为> 99％，在308nm和351nm处R> 99.5％）
Ø高品质的镜面基板，熔融石英窗口片和镜片
ØPR涂层的公差为
ر 2% for R = 10 ... 30%
ر 3% for R = 30 ... 75%
ر 2% for R = 75 ... 90% and
ر 1% for R > 90%
Ø开发和生产客户特定的组件
图2：可变衰减器在不同AOI下308nm处的透射光谱（a）和在308nm下AOI的透射率与AOI的透射率光谱图（b）; 透射率从AOI = 0°时的T> 85％变化到AOI = 45°时的T = 2±1％（非偏振光）
耐氟腔光学元件
图3：氟化KrF激光镜的反射光谱（a）和R = 50±3％的输出耦合器（b）
Ø氟化物涂层和CaF2基材对氟和氯具有高稳定性
Ø激光镜（在248nm和308nm时R> 98％，在351nm时R> 96％）
ØCaF2的高品质镜面基板，窗户和镜片（肖特公司248nm受激准分子级或紫外线品质）
ØPR涂层的公差为：
ر 2% for R = 10 ... 30%
ر 3% for R = 30 ... 75% and
ر 2% for R=75 ... >90%
KrF，XeCl和XeF激光组件的技术参数
Coating | Materials | Reflectance | Damage threshold* | Lifetime test |
HR (0°, 248nm) | oxides | > 99% | 10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns 5 J/cm2, 1000 - on - 1 | |
HR (45°, 248nm) | oxides | > 99% (random pol.) | 10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns | |
HR (0°, 248nm) | fluorides | R > 98% | 2x108 pulses** | |
PR (0°, 248nm) | fluorides | R = 50 ± 3% | 2x108 pulses** | |
PR (0°, 248nm) | fluorides | R < 0.25% | 2x108 pulses** | |
HR (0°, 308nm) | fluorides | R > 98% | 2x108 pulses*** | |
HR (0°, 351nm) | fluorides | R > 96% | 2x108 pulses*** | |
PR (0°, 351nm) | fluorides | R = 25 ± 3% | 2x108 pulses*** |
*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena进行了测量
**能量密度：100mJ / cm 2， 速率：100Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
***能量密度：55 mJ / cm2， 速率：100Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
