产品描述
极紫外 (EUV) 二向色滤光片
将 EUV 与 NIR 激光源分开
透射型熔融石英设计**限度地延长组件使用寿命
支持 13.5nm、20nm 和 30nm 应用
极紫外 (EUV) 二向色滤光片，也称为光束分离器，旨在通过在 EUV 和 NIR 波长之间提供高分离效率，用于高谐波产生应用。 这些滤光片采用高损伤阈值多层增透膜设计，支持比布鲁斯特角光束分离器和 EUV 滤光片更高的激光功率。 EUV 二向色滤光片具有从 5nm 到 40nm 的宽带宽范围。 除了产生高次谐波外，这些反射镜还可用于支持 EUV 应用的系统，例如 EUV 光刻、EUV 纳米加工和等离子体实验。
通用规格
尺寸容差 (mm): | +0.0/-0.2 | 直径 (mm): | 50.80 |
厚度 (mm): | 5.08 ±0.1 | 镀膜: | Dielectric Multilayer AR |
基底: | Fused Silica | 表面质量: | 20-10 |
平行度（弧分）: | <5 | 面形计算 (RMS): | <λ/10 @ 633nm |
产品型号
波长范围 (nm) | 产品编码 |
10 - 25 | #18-279 |
20 - 40 | #18-280 |
