应用领域：电子/电器/半导体，其他
资料类型：样本
等离子体分析飞行时间质谱仪结合了辉光放电等离子体的溅射速度和时间飞行质谱的快速以及高灵敏度，实现了高分辨率和高灵敏度条件下固体材料的快速化学深度剖析。
方案摘要
