应用领域：其他
资料类型：标准
由于涂层在工程和科学领域中广泛应用，因此薄膜表征技术备受青睐。薄膜的机械、功能和几何特 性差异很大，难以找到通用的表征技术。共聚焦显微镜技术和干涉光学分析是可以用于这方面的少 数方法之一。本报告介绍如何测量各种薄膜的厚度、残余应力、粘附力和粗糙度，以及这种表征技 术如何提供优于传统表征方法（如压痕或划痕测试）的结果。
方案摘要
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