电镜在陶瓷类样品的观察中应用非常广泛，本文首先介绍了扫描电镜在陶瓷样品观察上的常规方法，继而结合笔者多年制样经验，就玻璃相的制样处理方法、电子束穿透深度对图像的影响、能谱分析技术和飞纳电镜拓展软件分别作了阐述。分为上下两部分进行讨论。

 

• 扫描电镜在陶瓷样品观察上的常规方法

（a）

（b）

   图1 飞纳电镜照片(a)功能掺杂陶瓷1000×(b)陶瓷片断面2000×

图1陶瓷的SEM照片比较常见，那么一般陶瓷类样品用扫描电镜做什么呢？无外乎以下几个方面的研究，显微结构分析：晶体生长机理、台阶、位错、缺陷等的研究；成分非均匀性、壳芯结构、包裹结构的研究；静态或动态微观裂纹或气孔的研究；加热前后晶体合成、气化、聚合反应等研究；微区成分分析。