如何使用扫描电镜获取最佳的陶瓷类样品图像？飞纳电镜与你一起全方位，多角度分析这个问题。

（a）

（b）

图1 同类陶瓷相同电压不同电流的对比

(a)10kV 电流Low 放大倍数500×

(b)10kV 电流Image 放大倍数350×

 

图1显示了同一类样品在相同电压、不同电流模式下的对比图。可以看出，随着电流的增加图像的细腻度增加，信噪比增加，图像质量上升了。这主要是由于相同加速电压下，当增加电子束电流之后，有更多的电子跟样品发生相互作用，电子束在单像素停留时，有更多电子和样品发生相互作用，探头接受了更多的BSD信号；另一方面，图像中单像素范围内电子束与样品的相互作用范围增大，相邻像素的电子束作用范围重合度增加，这样一来单像素的灰度值与邻近像素的灰度值更趋于接近，灰度变化曲线的平滑性更好，给人一种细腻的视觉感受。对应的劣势也很明显，增加电流之后，电子束变粗，分辨率略有下降。