随着工业过程复杂化的增加，需要更严格、更高质量的分析，以确保产品符合所有质量和可靠性标准。由于扫描电镜（SEM）可以提供样品表面微观结构的详细（纳米级）信息，因此已成为实验室进行现代研发以及失效分析和故障排除的常用工具。扫描电镜通常与 X 射线能谱仪（EDS）结合使用，将形貌特征和元素信息结合起来。

想要将 SEM 和 EDS 的数据结合起来，通常需要复杂的工作流程，需要用到多个软件才能最终获得想要的数据。这种复杂的用户体验降低了实验室的工作效率，造成了潜在的仪器使用行为不一致，并使培训更加困难，从而使得 SEM-EDS 在大多数实验室中成为一种专业技术。

在本文档中，我们将简要介绍 SEM 和 EDS，以及如何将二者结合起来，在工业应用中进行更深入的材料表征。我们还将展示独有的 Thermo Scientific ChemiSEM 技术，该技术将 SEM 和 EDS 集成到一起，成为一种快速、易用的分析手段，无论是新手用户还是专业人士都可快速

掌握。