应用领域：电子/电器/半导体
资料类型：样本
方案摘要
Attolight SEM-CL 系统自带有集成了光镜的扫描电子显微镜 （10nm 空间分辨率）。光镜被嵌入在扫描电镜的电子物镜，使 两者的视场相互匹配。获取阴极荧光图从未如此简单：无需调 准光路，光镜的存在帮助完成了样品定位。系统经过优化，在 不牺牲扫描电镜性能的同时获得了优越的阴极荧光性能。它提 供了一个优秀的光学光圈 (f/0.5)，和在整个视场范围内恒定 的高光子收集效率。同时，它工作在低电子束的能量范围内 (3-10kV)，可获得更高分辨的阴极荧光图。
