监测高真空压力过程1 启动 MSD 并对其进行抽气操作。页 101。2 在 “ 调谐和真空控制 ” 视图中，从 “ 真空 ” 菜单中选择 开启／关闭真空计。3 在 “ 仪器控制 ” 视图中您能够设置 MS 的监视器方便阅读。真空也可通过 LCP或 手动调谐屏幕查阅。如果 MSD 中的压力高于大约 8 x 10 - 3 Torr，真空计控制器就不会打开。真空计控制器是针对氮气校准的，但是本手册中列出的所有压力都是针对氦气校准的。对运行压力影响最大的是载气 （色谱柱）流。表 20 列出了各种氦载气流的典型压力。这些压力是近似值，并且根据不同的仪器会有所不同。警告 使用氢气作为载气时，如果氢气有可能在多管系统中积聚，请勿打开Micro-Ion 真空计。在使用氢气载气对 MSD 进行操作之前，请阅读位于第 19

典型压力读数使用 G3397A Micro- Ion 真空计。注意，质量流量控制器是针对甲烷校准的，而真空计是针对氮气校准的，因此这些测量并不准确，但可用作典型观察读数的指南（表 20）。在以下几组情况下才进行上述操作。注意，这些是典型的 PCI 参数：请熟悉运行状况下您的 系统上的测量结果，并观察变化，这些变化可能表明存在真空或气流问题。不同 MSD 之间和不同真空计控制器之间的测量偏差可高达 30%。源温度 250 ℃四极杆温度 150 ℃接口温度 280 ℃氦载气流量 1 mL/min表 20 流量和压力读数压力 (Torr)甲烷 氨气MFC(%)EI/PCI/NCI MSD（性能分子涡轮泵）EI/PCI/NCI MSD（性能分子涡轮泵）10 5.5 x 10 –5 5.0 x 10 –515 8.0 x 10 –5 7.0 x 10 –520 1.0 x 10 –4 8.5 x 10 –525 1.2 x 10 –4 1.0 x 10 –430 1.5 x 10–4 1.2 x 10–435 2.0 x 10 –4 1.5 x 10 –440 2.5 x 10 –4 2.0 x 10 –