CAMECA二次离子质谱仪IMS Wf和SC Ultra-资料下载-CAMECA SAS

方案摘要

适用于高级半导体应用的高性能低能量SIMS

IMS Wf和SC Ultra经专门设计，可充分满足高级半导体对动态SIMS测量日益增长的需求该仪器可提供大范围的冲击能量（100 eV到10 keV），不影响质量分辨率和一次离子束密度，可确保在高通量条件下为最具挑战性的应用提供无与伦比的分析性能：超浅能量和高能量注入物、超薄氮氧化物、高k金属栅极、硅锗掺杂层，Si:C:P结构、PV和LED器件及石墨烯等等。