应用领域：其他
资料类型：其他资料
方案摘要
台阶仪测量膜厚的原理是基于台阶高度差的变化。具体操作时，台阶仪的探针会沿着薄膜表面移动，探针上的传感器会记录下探针在薄膜表面和基底表面的垂直位移变化，并通过数据处理系统转换成薄膜的厚度值，从而计算出薄膜厚度。
CP系列台阶仪采用LVDC电容传感器，具有亚埃级分辨率和超微测力特点。在测量测薄膜厚度方面，具有以下特点：
1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；
2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；
3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；
