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方案摘要
引言
结构与化学分析仪(Structural and Chemical Analyser，简称SCA)使扫描电镜学家在用扫描电子显微镜 (SEM) 观察样品，或用能量色散谱 (EDS) 分析样品的同时，受益于从光谱学角度得到的化学的、结构的和电子的信息。SCA能够与雷尼绍的任何一个型号的光谱仪连接，并支持单个或多种技术。这样用单一仪器实现广泛全面的原位样品表征就成为可能的了。SEM-SCA系统是两种成熟技术的一种独一无二的联用，成为赋予方便、效率和产能新的概念的一个多种技术的成套工具。
