拉曼光谱表征无定形硅和微晶硅

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方案摘要

沉积在玻璃或碳化硅上的硅广泛用于生产光伏电池,无定形和微晶硅的比例与分布对于电池性能很关键,因此这两种成分的检测非常重要。拉曼光谱是非常适合这种应用的技术,因为这两种形式的硅会产生极易分辨的不同拉曼光谱,并可采用比尔定律方法进行定量分析,同时可里采用拉曼成像技术给出晶体硅与无定形硅空间分布的详细信息。经证实,过高的激发激光功率会将无定形硅转化为晶体硅,因此必须严格限制激光照射到样品功率大小。特别是某个分析方法必须在多个生产工厂内与多个仪器上重复使用时,配备激光功率调节器的Thermo Scientific DXR 显微拉曼光谱仪是此类应用的最佳选择。

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