应用领域：其他
资料类型：课件讲义
何为ICP：
1、高温常压气体；（稳定达到10000K）
2、RF发生器使电感线圈发生高频震荡磁场；
3、高频磁场把能量耦合到氩气中，使Ar电离；
4、呈电中性,Ar离子与电子数目相同；
5、有大量亚稳态Ar原子；
方案摘要
