动态反应池-ICP-MS分析半导体级盐酸中杂质

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方案摘要

方案优势 本文介绍了ICPMS在分析20%盐酸中ng/l级杂质的应用。这篇应用文章证明了通过一次分析,在热等离子体条件下,动态反应池可以轻松地消除各类干扰,从而实现对HCl中的超痕量的杂质分析。

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