产品名称：椭圆偏振光谱仪

    产地：法国

    型号：UVISEL PLUS

典型用户：NASA 戈达德太空飞行中心

01 仪器用途及应用范围：

UVISEL 是20 多年技术积累和发展的结晶，即使在透明的基底上也能对超薄膜进行最精确的测量。作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比， 能提供更好的稳定性和信噪比。

先进功能材料

• 薄膜厚度、光学常数表征

• 材料/ 表面改性研究

• 粗糙度、孔隙率表征

• 渐变层、界面层等分析

• 穿过率、反射率曲线测量

汽车

• 薄膜厚度、光学常数表征

• 表面粗糙度、孔隙率表征

• 渐变层、界面层分析

• 透射率、反射率测量

• 涂层及镀层分析

半导体材料

• 硅片上SiO2 薄膜厚度监控

• 光刻胶n，k（190-2100nm）

• SiN，SiO2 等膜厚测试

• 第三代半导体外延薄膜厚度

能源/光伏

• 薄膜厚度、光学常数表征

• 工艺对镀膜的影响分析

• 渐变层、界面层等分析

• 膜层不均匀性成像分析

• 在线监测

02 产品特点

50 KHz 高频PEM 相调制技术，测量光路中无运动部件

具备超薄膜所需的测量精度、超厚膜所需的高光谱分辨率

多个实用微光斑尺寸选项

可用于在线实时监测

自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等

配置灵活，测量范围可扩展至190 nm~2100 nm

03 索取样本、联系报价

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领域：新能源,功能材料,电子/电器/半导体

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