近期，瑞士swisslitho公司利用3d纳米高速直写设备完成了 nano-dog 贺卡的制作，尺寸仅有9.2μmx 5.5μm，z轴精度1nm，是纳米加工的又一进步

喜气洋洋的旺旺狗，体现了这款设备的纳米直写能力（高直写精度 (xy: 10nm, z: 1nm)），同时高直写速度，无需显影，无临近效应，无电子/离子损伤等特点逐渐受到科研工作者的青睐。2017推出的小面积直写系统nanofrazor scholar更是只有30mmx30mm的样品台，桌面配置，方便了实验室科研人员的研究工作。

普通的afm针尖可无法满足上述直写流程的需求，为此ibm专门研发并设计了热扫描探针。该针尖具有两个电阻加热区域，针尖上方的加热区域可以加热到1000℃。 第二处加热区域作为热导率传感器位于侧臂处，其能感知针尖与样品距离的变化，精度高达0.1nm。

在每行直写进程结束后的回扫结构时，并不是通过针尖起伏反馈形貌信息，而是通过热导率传感器感应形貌变化，从而实现了比afm快1000余倍的扫描速度，同时保证了3d直写的高精度。

瑞士swisslitho公司同时将于3.28-3.29在苏黎世举办第五届热探针研讨会，届时希望就热扫描探针及其他探针技术问题，与各位学者展开深入的探讨与交流。活动受到了热扫描探针及相关研究领域人员和热切关注，如果您对探针技术感兴趣，请点击https://swisslitho.com/event/tpw18/ 了解详情。

领域：电子/电器/半导体,纳米材料,高分子材料

标签：纳米直写，光刻设备，光刻机，热扫描探针，3D直写