VPS—200真空探针台可以在真空环境下对2寸晶圆片进行非破坏性的测试，目前二维材料，钙钛矿材料，有机半导体材料及相应器件如果暴露于大气测量会吸附水蒸气，氧气等。从而造成测量的不确定性，因此真空下测量成为这些材料及器件的迫切需求，在真空环境下测量增强了测量的可靠性和稳定性，为工艺分析提供了更加可靠的测量数据。VPS—200系列探针台外接不同的测量仪表，可以完成对器件电学特性测量，光电特性测量，参数测量，high Z测量，DC测量，RF测量，和微波特性测量。系统的探针，测试电缆，样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需求。

  VPS—200真空度可以达到1E-5 torr，真空腔体上配有充气阀门，用户可以利用这个充气阀门进行相关的气敏实验。系统最多可安装6个可以进行三维调节的探针做，用户可以根据实验需求在探针座上选配直流，射频，高压和微波电缆及探针。为了测量的方便性，及保证2英寸范围内的样品都可以被测试到，样品座可以进行三维调整，这样在一个器件测试之后，不必移动探针，只需要移动样品座来实现下一个器件的测量。样品座有接地样品座，高压样品座，绝缘样品座和三同轴样品座等选择，用户可以根据测量需求进行选配。

      为了提高系统的实用性，系统还可以提供分子泵组，光学平台，多路直流测量仪表，光纤探针座等选件，从而来满足各种各样的Celia那个需求。

      特点：

      满足2英寸晶圆测试

      样品座XYZR四个方向可调节，晶圆测试时无需每次大幅度调节探针

      四个探针座可实现XYZ三个方向可调节

      探针运动精度可达到1微米

      DC到67GHz测量

      真空度可以达到1E-5torr

      可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需求

领域：其他