日立新型台式电镜TM3030在低加速电压成像中的优异表现

         低加速电压成像在扫描电镜成像中有着重要的作用。采用低加速电压成像，低能电子束受到散射的扩散区域小，相互作用区接近表面，有利于表面精细形貌成像。对于某些热敏或导电性能差的样品，如半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等，有时不允许进行导电处理，而要求直接观察，采用低加速电压成像可以减小或消除此类样品的荷电效应同时减小电子束辐照损伤。下图为氧化锌样品在5KV和15KV下的图像对比，由图像可知，在5KV低加速电压下，样品表面细节特征清晰，有利于表面精细形貌的观察。  

    近年来各扫描电镜厂商推出的大型落地式电镜都具备低加速电压的操作功能。但低加速电压成像受到空间电荷效应、电子光学系统像差和杂散磁场的影响，往往图像分辨率低，图像质量差。目前市面上的台式扫描电镜的低加速电压成像功能由于受到上述几个因素的影响，成像效果不理想，阻碍了台式扫描电镜对样品表面精细形貌的观察。     日立凭借其在台式扫描电镜研发领域的优势，推出新型台式扫描电镜TM3030，率先采用更优化的电子光学系统，提供了一个三级“5kv mode”模式，分别在低，中，高三种倍率观察下，调整束斑大小和束流比例，满足不同观察倍率的观察要求。使样品在低加速电压下的图像分辨率提高，图像质量得到优化。下图为磁头和报纸在5KV低加速电压下优化前与优化后图像对比，由图像质量可知，TM3030台式电镜在低加速电压成像观察中图像分辨率和图像质量都有了很大的提高，有利于样品表面结构的观察。 TM3030 会在天美展台展出，并现场演示做样，欢迎您前来关注。 时间：2013.10-23-10.26 地址：北京展览馆 天美展台：2090-2093，2020-2027（2号馆主席台旁） 公司介绍：   　　天美(中国)科学仪器有限公司(“天美(中国)”)是天美(控股)有限公司(“天美(控股)”)的全资子公司，从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销;为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。天美(中国)在北京、上海、等全国15个城市均设立办事处，为各地的客户提供便捷优质的服务。   　　天美(控股)是一家从事设计、研发、生产和分销的科学仪器综合解决方案的供应商。 继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司和英国Edinburgh等多家海外知名生产企业，加强了公司产品的多样化。   　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

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