场发射电镜如何应对停电

得知停电计划后，客户可提前关闭灯丝发射，将电镜转为待机模式，降低能耗，以延长离子泵工作时间，维持枪头真空。具体的操作如下：

01、尽可能提早结束工作，取出样品后持续抽真空，以尽可能保持样品仓（镜筒）较好的真空度；

---

02、停电前，用supervisor账户登录：

▼

打开菜单SEM-FEG HV Control：

 

▼

点POWER OFF，等待大约10分钟，关闭灯丝发射：

03、点Standby使电镜进入休眠（四代机点右上角月亮图标，选POWER SAVE 模式）

04、退出软件，关闭电脑。

恢复供电后，应尽快恢复电镜工作，具体操作如下：

01、开电脑，用supervisor账户登录：

▼

先点PUMP抽真空（四代机点右上角月亮图标，解除POWER SAVE 状态）

02、等待镜筒真空降低，建议尽可能等到镜筒真空达到-4数量级后再继续下一步操作；

03、打开菜单SEM-Bake out面板：

▼

检查离子泵工作状态，如果离子泵仍正常运行（曲线图中代表Gun IP 和 Column IP 的曲线都在，且持续稳定），可直接进入“步骤7”开启高压；

04、如离子泵已经停止运行，在Bake out 面板中点GVL OPEN，观察column （四代机即Chamber）真空度变化，如仍维持在-4数量级，可点ION PUMP ON开启离子泵，如真空变化较大，则等到真空重新降至-4数量级后再开启离子泵。

▼

05、点ION PUMP ON后，电镜会尝试启动离子泵4次，如4次没有成功，可再点进行尝试。通常情况下，三代机第一次出现USE PRESS BOOST的询问时，可以点Yes，之后再尝试启动时都点No，四代机不会出现这个提示。

06、离子泵自动启动的顺序是先Column IP，后Gun IP， Gun IP启动后，耐心等待枪头真空降低，建议等降至8e-8Pa以下再开灯丝；

07、进入菜单SEM，点FEG HV Control，点Reset Unit（四代机是一个带箭头的圆圈图案），选Reset Unit重置高压单元后，点POWER ON（四代机是绿色按钮）开启灯丝发射；

▼

08、等待，直至Extractor电压的Read back 和 Setpoint值（四代机是POWER ON TARGET）一样后，即可正常使用电镜。

特别注意

1、电镜关闭灯丝操作属于应急操作，有一定风险，对电镜不熟悉的用户请勿尝试，请勿频繁操作

2、关闭灯丝再重新开启后，灯丝发射电流需等待至少12小时恢复稳定，并且有可能需要重做镜筒对中或用户Preset。

领域：机械设备

标签：电镜如何应对停电