第二场显微分析应用系列报告旨在分享氙离子FIB的特点及各个领域的应用，尤其是半导体行业。

先来回顾下清华大学徐晓明老师的精彩内容。

完美实现原位的

微区综合分析表征

TESCAN 是全球首家将等离子 FIB 集成到扫描电子显微镜（SEM）中的制造商，早在2011年就推出了FERA，并于2019年底推出了新一代的 AMBER X 和 SOLARIS X。其中  AMBER X 将可用于样品精确加工的氙等离子体 FIB 和无漏磁的超高分辨成像的 SEM完美地结合，应用于各类材料的显微结构表征。氙等离子体 FIB 与传统的金属镓离子的 FIB 相比，大离子束流上的束斑更小。因此，它可以用更快的速度完成样品切削工作的同时，仍然能完成精细加工和抛光，并实现15 nm的高分辨率成像。

除此之外，其另一个强大的功能是与其它附件（拉曼图像-RISE、TOF-SIMS）联用，帮助完美实现原位的微区综合分析表征。

《氙等离子体FIB的技术特点及其在不同领域中的应用》

徐晓明 

清华大学材料科学与工程研究院中心，高级工程师

徐老师的报告从双束电镜的组成出发，列举了成像、切割、沉积的三种功能以及常见的5种应用方向：

• 截面制备

• 微纳加工

• 透射样品制备

• 三维重构

• 与TOF-SIMS和拉曼联用

并通过丰富的案例展示了：Xe等离子体的大体积加工能力，无Ga离子注入以及较小的非晶化损伤的优势，这些应用案例涉及金属材料、锂电池等行业；而Xe等离子体FIB与拉曼图像-RISE、TOF-SIMS联用，可以完美实现原位的微区综合分析表征。详细报告回放，请搜索“中国电镜用户之家”查看会议视频回放。

希望能为专家和老师提供一个学习的平台，TESCAN始终秉持的核心价值观。我们下一期再见！

领域：电子/电器/半导体

标签：氙离子FIB，双束扫描电镜，半导体应用，锂电池应用，拉曼联用，原位微区综合分析表征