电子特种气体（电子特气）主要包括电子气体、高纯气体和标准气体，在半导体和微电子工业中应用广泛，是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的重要材料，由于在半导体等电子工业生产中的重要作用，电子特气被称为电子工业的“血液”。

电子特气的品质主要取决于其纯度和净度，一旦纯度或是净度不达标，轻则使得下游产品质量不过关，重则扩散污染整条产品线，造成严重浪费。

为了保证产品的合格率，避免经济损失，半导体制造商会对气体供应商提供的气体纯度做出严格要求，通过使用多种气体纯化技术并实时连续监测气体纯度，以确保输送到制造全过程的超纯气体的质量。

雪迪龙公司为半导体制造商提供过程气体分析一站式解决方案，在电子特气进入硅晶圆制造工艺之前，就开启连续监测，并通过自主研发的软件包实时分析和反馈，满足对晶圆制造过程中各种气体及杂质进行在线实时监测的需求。

对关键的工艺气体进行连续检测：包括O2、N2、H2、He、Ar、CO、CO2等。

对主要的工艺杂质（ppt级）进行连续检测：例如O2、H2O、CH4、NMHC等。

1.预纯化过程气体监测

电子特气的供应方式有多种形式，包括现场空分装置、长管拖车和大型储罐等。半导体制造商对气体纯度有严格的纯度要求，通常会在生产点或供气的入口处对电子特气进行纯度检测。

2.后纯化过程气体监测

许多半导体制造商会使用大型纯化装置，对进入设施的大流量气体进行纯化，再次确保进入制造过程的电子特气是高度纯净的气体，此为后纯化装置。在一个晶圆制造的设备中，通常会在多个位置安装在线分析仪，对每种工艺气体后纯化过程进行实时监控。

半导体晶圆制造过程有百余道工序，在各个环节中需要多种电子特气，一旦发现气体污染问题，即使马上阻断气体输送至生产线，关闭生产之前已经发生的产品损失也无法避免，而且生产线停工后，彻底地检查和清理设备并切换至其他供应商的气体需要一定的时间，造成的损失不可估量。所以对预纯化和后纯化过程气体进行在线监测，实时保障气体的纯度尤为重要！

雪迪龙旗下全资子公司ORTHODYNE提供的分析设备性能稳定，分析精度高，其优异的质量和专业的服务深受客户的认可。

 

ORTHOPure HDID-ppt-ppb-ppm

HDID/HE系列利用氦离子化检测器来测量氦气（He）、氩气（Ar）、氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、二氧化碳（CO2）、氪气（Kr）或氙气（Xe）中的痕量杂质气体，包括氖气（Ne）、氢气（H2）、氩气（Ar）、氧气（O2）、氮气（N2）、氪气（Kr）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、氙气（Xe）等。

 

 

DID/Ar-ppb-ppm

DID/AR系列利用氩离子化检测器来测量氩气（Ar）中微量杂质气体，包括氢（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）等。

 

 

ORTHOPure FID-ppt-ppb-ppm

FID系列利用火焰离子检测器来测量氦气（He）、氩气（Ar）、氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、二氧化碳（CO2）或空气中杂质气体，包括甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、非甲烷碳氢化合物（NMHC）等。

领域：电子/电器/半导体

标签：半导体,晶圆,电子特气