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VTC-100吸盘测试实验报告
进口无油真空泵(226L/min)ACP15
技术参数
1、电源:110V-240V 50Hz/60Hz
2、抽速:3.7L/s
3、极限真空:2.2×10-2torr,因真空腔体的尺寸不同而不同
4、接口:进气接口KF25,出气接口KF16
5、使用环境温度:12℃-40℃
注意事项
每次使用后(尤其是抽湿气后),要进行排气,以排出水分。否则连续数次后可能导致叶片旋转不畅,而使泵不能正常工作或损坏。
排气操作如下图所示:进口无油真空泵(226L/min)ACP15因为泵内无油,所以在真空状态下无油雾产生,从而为实验提供了一个洁净的低压环境,特别适合与我司管式炉配合使用,组成低压CVD系统。
产品型号
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