EBSD即电子背散射衍射技术，是材料进行基本的取向测定和相结构鉴定的有效方法。其样品制备的基本要求是：测试面要保持“新鲜”、平整，无任何应力（如弹、塑性应力），无任何污染，具有良好的导电性。
本文中的样品是厚度约为块状紫铜材料，需要对其进行EBSD分析前的制备。在能满足样品制备的基本要求的基础上，采用了较清洁、高效的方法：机械抛光+离子束抛光。

01镶嵌

为使后续能够半自动研磨抛光，将样品镶嵌至合适的尺寸。因为EBSD技术要求样品导电，可选用导电树脂进行镶嵌。镶嵌尺寸控制D38 x H12mm内，便于后续的离子束抛光。

02研磨抛光

镶嵌后的样品，将进行机械研磨与抛光，步骤如下表：

表1.研磨抛光耗材与参数

AutoMet™ 300 Pro 研磨抛光机

AutoMet系列研磨抛光机专为严苛的生产实验室环境而设计。AutoMet 300 Pro 配备了全彩色LCD触摸屏，适用于手动或自动样品制备。其简单灵活的操作，让用户可以轻松地应对多种应用需求。AutoMet 300 Pro 采用耐用结构设计以提高在频繁使用环境中的耐用性，而其*特的快速清洁以及丰富的操作功能，提高了用户操作的便利性。 AutoMet 300 Pro可进行编程，从而进一步节省成本并获得高*可重复的结果。

性能与优点

优点：

• 先进的编程功能可轻松实现高级的功能

• 彩色触摸屏控制增加了多种先进的功能，例如Z轴材料定量去除，以及制备方法存储。

• 快速切换制备步骤，以便轻松设置流程。

• 与自动配送系统兼容，可进一步节省成本并获得高度可重复的结果。

• 清洁流程大为简化

• 冲洗和旋转功能使您只需按一下按钮即可快速轻松地进行清洁。

• 伸缩式水管可快捷清洁整个碗型内衬。

• 碗型内衬可防止盘内区域脏污和碎屑堆积。

• 选择最佳的方案，以满足实验室需求

• 无需制备较大样品时，选择8”和10”尺寸的磨盘可降低砂纸和金刚石成本。