发布时间：2023年10月
用户
北京-北京-朝阳区中国科学院生物物理研究所
安徽-合肥-合肥中国科学技术大学
产品描述
DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，低电压高分辨率成像，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，拥有高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构，拥有24个扩展口，配置全面，自主可控，扩展性强，为您打造全能纳米分析和加工中心。
性能特点
高压隧道技术 镓离子束
配置全面 气体注入器
集成式机械手 质保无忧
产品优势
01 高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
02 “承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
03 样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位
04 自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务，提供免费的三年质保无忧服务
技术介绍
离子镜筒"承影"
技术特点
分辨率：3 nm@30 kV
探针电流：1 pA~50 nA
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
纳米机械手
技术特点
仓内安装方式
三轴全压电驱动
步进精度≤10nm
最大移动速度2mm/s
集成式控制方式
离子束-电子束协同
气体注入器
单气体注入
多种气源可选
伸缩距离≥35 mm
重复定位精度≤10 um
加热温度控制精度≤0.1℃
加热温度范围：室温~90℃
集成式控制方式
应用案例
金线/30 kV/800X/ETD
芯片/1 kV/1500X/ETD
芯片/1 kV/15000X/ETD
产品参数
| 电子束系统 | 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 |
| 分辨率 | 1.2 nm@15 kV | |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 离子束系统 | 离子源类型 | 液态镓离子源 |
| 分辨率 | 3 nm@30 kV | |
| 加速电压 | 500 V ~ 30 kV | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 |
| 摄像头 | 三摄像头 | |
| （光学导航+样品仓内监控x2） | ||
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 | |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器 |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 纳米机械手 | ||
| 气体注入器 | ||
| 等离子清洗 | ||
| 样品交换仓 | ||
| 轨迹球&旋钮控制板 | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
